來源:東方網 發布時間:2023-5-11 10:5
近日,上海發布《關于新時期強化投資促進加快建設現代化產業體系的政策措施》(下稱《政策措施》)!墩叽胧访鞔_指出,聚力招引集成電路、生物醫藥、人工智能三大先導產業,通過資金、政策等支持舉措,強化重點產業招商新優勢。
經過多年的發展,上海在上述三大先導產業已形成明顯的產業集群效應。以集成電路為例,根據去年年中發布的數據,上海集聚了超過1200家行業重點企業,匯聚了全國約40%的產業人才,集聚了國內超過50%的行業創新資源。2021年,上海集成電路產業規模突破2500億元,約占全國25%。2022年上半年,上海集成電路產業規模繼續保持超過17%的增速增長,全年有望突破3000億元。
從產業鏈路方面來看,上海不僅已在晶圓制造、集成電路設計、汽車芯片等領域建立起優勢,在半導體材料、EDA、半導體設備制造等需要“補短板”的領域也誕生了標桿企業。
補短板,誕生多個集成電路標桿企業
在芯片設計的底座EDA領域,上海的概倫電子(688206.SH)、思爾芯快速成長,助推國產EDA發展。公開數據顯示,兩家企業2020年營業額均超過1億元,而2021年實現營業額分別同比增長41%和59%的成績。EDA是面向電子設計領域的基礎工具,被稱作“芯片之母”,貫穿于芯片設計、晶圓制造及封測各環節。但長期以來,全球EDA軟件市場由新思科技、楷登電子和西門子等國際巨頭主導,三家廠商共占據全球EDA市場約70%的份額。
同樣存在短板的,還有半導體硅片領域。目前,全球半導體硅片市場主要為日本的信越化學和SUMCO、德國的Siltronic、中國臺灣的環球晶圓以及韓國的SK Siltron所壟斷。據SEMI統計,2020年上述全球前五大硅片制造商共同占據著半導體硅片市場約87%的份額。
而中國大陸的半導體硅片企業主要生產150mm(6英寸)及以下的半導體硅片,僅有滬硅產業、上海超硅等少數幾家企業同時具有200mm(8英寸)及300mm(12英寸)大尺寸硅片的生產能力。
也因此,國產半導體大硅片企業正加速追趕。今年1月,上海市發展改革委公布《上海市2023年重大工程項目清單》,“超硅半導體300mm集成電路硅片全自動智能化生產線”、“上海超硅生產研發及配套設施建設項目”兩個項目入選。一家公司同時兩個項目入選省級重大工程,凸顯了上海市對集成電路產業的重視程度與支持力度。
資料顯示,上海超硅成立于2008年,是一家主要從事半導體硅片研發、生產和銷售的科技企業,目前主要產品包括200mm的拋光片、氬氣退火片和外延片,300mm的拋光片、外延片,是中國大陸輕摻雜、零缺陷大尺寸硅片的技術拓荒者之一,更是最早進行產業化量產的輕摻雜大尺寸硅片企業。
在技術上,上海超硅已形成了完備的技術鏈條,掌握了包括高純半導體單晶生長爐自主設計與集成技術、高成晶率單晶直拉生長自動控制技術、高精度低損耗半導體硅片加工技術,以及基于拋光硅片的特殊用途硅片加工技術等核心技術。
其中,長晶爐是半導體硅片生產中的關鍵設備。據業內人士介紹,在大尺寸半導體硅片生產中,拉晶環節所需的晶體生長設備直接影響半導體晶體的電阻率、含氧量等核心指標,從而決定了硅片的質量。由于半導體硅片屬于定制化程度非常高的產品,其性能指標多達幾千項,其中絕大部分理化指標由長晶環節決定,也就是行業內常說的“晶體長得好、硅片才可能好”。晶體是否能夠長得好,又取決于長晶設備與長晶工藝之間的動態調整與配合,這也是國際頂尖半導體硅片生產企業都自主設計和制造長晶爐的原因,且其為了技術封鎖,也不對外銷售長晶爐。
而上海超硅從藍寶石晶體生長起步,經過多年的研發努力,終于攻克了半導體長晶爐的核心技術,成為全球第三家自主設計與制造長晶爐的大尺寸半導體硅片生產企業,極大地縮小了我國單晶硅生長工藝及設備技術水平與國際一流企業的差距。
據悉,得益于長晶爐技術的自主配套,上海超硅更加能夠快速響應下游客戶的定制化需求,同時基于自身嚴謹的質量管理體系,全球排名前20位的集成電路制造商中,已有18家成為上海超硅的正式客戶并實現了批量供貨,包括臺積電、聯電、格羅方德、中芯國際、華虹集團等國際知名晶圓代工企業,韓國海力士、日本鎧俠、美國鎂光等國際存儲芯片龍頭企業,以及荷蘭恩智浦、德國英飛凌、美國德州儀器、日本索尼等國際半導體IDM龍頭企業。
聚沙成塔,助力“中國芯”良性生態發展
技術上“補短板、追先進”的同時,上海集成電路產業的集群發展已經進入了新階段,成為“中國芯”高速發展的生態引擎。
作為全國集成電路產業高地,上海集成電路產業正溢出“長三角”。譬如,今年1月,華虹半導體(01347.HK)發布公告稱,其有條件同意通過合營公司成立合營企業并以現金方式分別向合營公司投資合計40.2億美元,從事12英寸晶圓的制造及銷售。
以江蘇啟東為例,為承接上海產業溢出,則成立了上海交大電子信息與電氣工程啟東產研院,全力打造高端電子信息和電氣工程基地。啟東經濟開發區規劃建設半導體裝備及材料產業園,并設立10億元基金,以對接上海集成電路產業,并全力打造半導體裝備及材料研發和國產化基地,F在,啟東已集聚捷捷微電、啟微半導體、乾朔電子、托倫斯半導體設備等一批業內“尖子生”。
不僅是長三角,上海集成電路還實現對成渝地區的賦能。上海超硅子公司重慶超硅即是一典型案例。資料顯示,重慶超硅投資建設的“極大規模集成電路用200mm單晶硅晶體生長與拋光硅片及延伸產品”項目是中國大陸最早的200mm輕摻雜覆蓋LOW COP、COP FREE、氬氣退火、外延等高端大尺寸硅片產業化生產線。
路雖遠,行則必至;事雖難,做則必成。在概倫電子、思爾芯、上海超硅等標桿企業的共同努力下,上海集成電路產業有望不斷補短板,推動“中國芯”良性的生態發展。